X射线荧光光谱(X-Ray Fluorescence, XRF),是一种利用 X 射线激发样品中原子的内层电子,并通过测量其发射出的特征 X 射线荧光来分析样品元素组成的技术。它的基本过程可以为三步:①X射线照射样品、②样品中某些原子的内层电子被激发出去留下空穴、③外层电子跃迁填B这个空穴,同时释放出具有特征能量的X射线。不同元素的原子结构不同,发射出的荧光 X 射线能量也不同。仪器通过识别这些特征能量,来判断样品中有哪些元素;再结合信号强度,进一步分析各元素的大致含量。XRF 的核心逻辑并不是看形貌、看价态,而是通过元素发出的“特征荧光信号",来识别样品整体元素组成,就像是在“读取材料的元素SFZ"。