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X射线荧光膜厚仪

简要描述:X射线荧光膜厚仪主要检测Sn/Fe(基材)、Zn/Cu(基材)、Ni/Cu(基材)、Cr/Ni/Fe(基材)、 Au/Ni/Cu(基材)等数十种电镀工艺金属镀层进行厚度测量,具有测量精度高、简便快捷、无损的优点

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2022-03-25
  • 访  问  量:68
详细介绍

X射线荧光膜厚仪技术指标

 

分析元素范围:硫(S)~铀(U) 

同时检测元素:多24个元素,多达5层镀层

分析含量:一般为2ppm到99.9% 

镀层厚度:一般在50μm以内(每种材料有所不同)

SDD探测器:分辨率低至135eV

先进的微孔准直技术:小孔径达0.1mm,小光斑达0.1mm

样品观察:配备全景和局部两个工业高清摄像头 

准直器:0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与Ф0.3mm四种准直器组合 

仪器尺寸:690(W)x 575(D)x 660(H)mm

样品室尺寸:520(W)x 395(D)x150(H)mm

样品台尺寸:393(W)x 258 (D)mm

X/Y/Z平台移动速度:额定速度200mm/s 速度333.3mm/s

X/Y/Z平台重复定位精度:小于0.1um

操作环境湿度:≤90%

操作环境温度:15℃~30℃

 

X射线荧光膜厚仪性能优势

 

1.精密的三维移动平台 

2.的样品观测系统 

3.先进的图像识别 

4.轻松实现深槽样品的检测 

5.四种微孔聚焦准直器,自动切换 

6.双重保护措施,实现无缝防撞 

7.采用大面积高分辨率探测器,有效降低检出限,提高测试精度

全自动智能控制方式,一键式操作!

开机自动自检、复位; 

开盖自动退出样品台,升起Z轴测试平台,方便放样; 

关盖推进样品台,下降Z轴测试平台并自动完成对焦; 

直接点击全景或局部景图像选取测试点; 

点击软件界面测试按钮,自动完成测试并显示结果。


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